1、预处理→一级反渗透→二级反渗透→纯水箱→纯水泵→用水点
（产水电阻率大于0.5 MΩ.cm）
2、 预处理→反渗透→纯化水箱→离子交换器→纯水泵→用水点?
（产水电阻率大于10 MΩ.cm）
3、预处理→一级反渗透→二级反渗透→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→用水点
（产水电阻率大于15 MΩ.cm）
4、预处理→一级反渗透装置→二级反渗透装置→中间水箱→紫外除T0C装置→脱
气装置→EDI装置→紫外除T0C装置→脱气装置→氮封纯水箱→双级抛光混床→终
端超滤装置→用水点（产水电阻率大于18 MΩ.cm）